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专注于半导体电镀/清洗技术领域
公司设备主要应用于半导体、数字晶圆、功率器 半导体、化合物芯片、Micro-LED等晶圆产品的电镀/清洗加工处理
1.应用领域:面板级封装,通孔电镀,双面电镀,
TGV,Pillar,Bump等工艺;
2.基板尺寸:L320-620mm*W320*620mm(需定制);
均匀性
3.设备特色:
◎ 采用工业控制一体机触屏操作控制,方便快捷;
◎ 采用正版工业物联网组态软件进行控制和监控;
◎ 支持SECS/GEM通信协议和数据传输;
◎ 垂直式电镀腔体,方便维护;
◎ 配备1个预浸腔体 ;
◎ 配备 最多12个电镀腔体(按需定制);
◎配备3个清洗腔体;
◎配备1个干燥腔体;
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