设备核心配置
数字压力表
每个处理缸均配备带数据外传功能的数字压力表，随时监控泵浦压力和滤芯过滤状况，提高设备运行稳定和产品质量。
高频直流整流机
采用欧洲 COSOUL 高频直流整流机，提高镀铜稳定性和均匀性。
超声波数字流量计
采用日本基恩士超声波数字流量计，计量精准运行稳定，为品质可靠提供保障。
风囊泵浦
采用 PTFE 超纯净风囊泵浦，保证药水的洁净度。
PLC 控制系统
采用日本基恩士 KV-8000 系列顶配 PLC，提高运行速度，提高设备运行稳定性。
晶圆搬运机械手
采用日本进口 JEL 双臂晶圆搬运机械手，高效稳定。
工业物联网组态软件
采用正版工业物联网组态软件进行控制和监控，支持 SECS/GEM 通信协议和数据传输。（图为软件架构示意图）
自动上下料与运行监控
自动上下料系统，方便操作；每个工位配备晶圆数量计数器，晶圆数量一目了然；配备设备内部运作监控系统，设备运转状态清楚明了。
PFA 气动隔膜阀
隔膜阀采用进口 PFA 气动隔膜阀，提高药水的纯净度，提高使用寿命。
PFA 超纯净管路
药水和水洗管路均采用进口 PFA 超纯净管路，提高药水的纯净度，提高使用寿命。
LET’S TALK
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